在真空磁控溅射镀膜技术中的等离子体，一般是电场作用下通过工作气体放电形成的。构成分子的原子获得很大的的动能，开始彼此分离，原子的外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子，失去电子的原子变成正离子，这一过程叫电离。
　　等离子体是一种电离气体，是离子、电子和高能原子等的集合体；正离子和电子总是成对的出现，总数大致相等，整体呈准电中性，它是一种由带电粒子组成的电离状态，称为物质的第四态-等离子态。
　　对气体放电形成等离子体施加电压或电场，伴随导电离子、粒子、电子等的移动，在等离子体中会流过电流，这就是等离子体的导电性。
　　在气相沉积过程中，工作气体和靶材金属原子被高能电子撞击电离为由电子、气体离子和金属离子等导电粒子组成的等离子体。
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